Trek 1100TN靜電力顯微鏡(EFM)使電壓分布的測(cè)量具有非常高的空間分辨率-10μm遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出典型的靜電電壓表的能力。與在大氣條件下操作的掃描探針顯微鏡相比，Trek的EFM還可以測(cè)量更大的表面積的電壓分布。Trek的EFM使用一個(gè)反饋電壓到檢測(cè)器，它等于測(cè)量的電壓，從而防止探測(cè)器和測(cè)試表面之間的電弧影響。

靜電力顯微鏡1100TN

可以在大氣條件下使用

空間分辨率優(yōu)于10μm

三種測(cè)量模式:

——靜態(tài)

——譜線輪廓

——三維投影

測(cè)量范圍:0到±1 kV直流

空間分辨率(參考輸入電壓與combshaped電極:信號(hào)強(qiáng)度10μm寬度的60%  信號(hào)強(qiáng)度20μm寬度的70%

分離探測(cè)器測(cè)試和表面(Z軸)與壓電控制階段:通常5μm

精度:超過(guò)0.5%。

電壓靈敏度:大于100mV。

采樣速度:30 ms到0.1 ms每個(gè)數(shù)據(jù)樣本。

掃描區(qū)域

X軸和Y軸: ±15mm，分辨率為1μm。

Z軸范圍:0到5mm。

Z軸壓電階段范圍:0到80μm 和1μm準(zhǔn)確性

光學(xué)系統(tǒng)

用于檢測(cè)懸臂畸變的激光裝置:激光二極管670nm帶探測(cè)器光電二極管。

觀察實(shí)際測(cè)量點(diǎn)。

光源:綠色

攝像頭:CCD 380k像素。

物鏡:10 x鏡頭500μm方形在監(jiān)控?cái)z像頭